1 微细化的适应性
传统的图形宽度约为100gm左右，最近的安装电路的图形宽度只有传统的1／3左右，今后的检查装置必须适应图形的微细化。为了要高精度的检出缺陷，除了在研究像素的微细化和检查计数法的改良的同时，还要研究采用透镜来修正图像倾斜或者自动焦点法。
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2008-7-3 17:27:00
2008-6-12 12:16:00
2008-6-12 12:02:00
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